Giải Pháp Khí Nén Cho Ngành Điện Tử & Bán Dẫn

Trong các nhà máy điện tử và bán dẫn, khí nén được sử dụng cho thiết bị khí nén, hệ thống tự động hóa, van và cơ cấu chấp hành, thiết bị lắp ráp, kiểm tra, đóng gói và các hệ thống phụ trợ trong nhà máy.

Một số khu vực sản xuất có yêu cầu kiểm soát độ ẩm, hạt bụi và hàm lượng dầu nghiêm ngặt hơn so với các ứng dụng công nghiệp thông thường.

Khi khí nén nguội đi, hơi nước trong hệ thống có thể ngưng tụ bên trong đường ống và thiết bị. Đối với các quy trình nhạy cảm, độ ẩm không được kiểm soát có thể ảnh hưởng đến độ ổn định của thiết bị, hệ thống khí nén và điều kiện vận hành.

Lingyu cung cấp máy sấy khí nén hấp phụ, máy sấy khí nén lạnh, máy sấy hấp phụ mô-đun và hệ thống lọc khí nén cho các nhà máy điện tử, bán dẫn và sản xuất chính xác.

Vì Sao Chất Lượng Khí Nén Quan Trọng?

Khí nén chưa được xử lý có thể chứa:

• hơi nước;
• nước ngưng;
• hạt rắn;
• aerosol dầu;
• tạp chất từ máy nén và đường ống.

Trong môi trường sản xuất điện tử và bán dẫn, những yếu tố này có thể làm tăng nguy cơ:

• hình thành nước ngưng;
• ăn mòn đường ống;
• hoạt động không ổn định của van và cơ cấu chấp hành;
• tăng nhu cầu bảo trì;
• ảnh hưởng đến các thiết bị và công đoạn nhạy cảm;
• giảm độ ổn định của hệ thống khí nén.

Do đó, chất lượng khí cần được xác định theo từng điểm sử dụng và yêu cầu thực tế của quy trình, thay vì áp dụng cùng một mức xử lý cho toàn bộ nhà máy.

Những Thách Thức Chính

Độ ẩm môi trường cao

Điều kiện khí hậu nóng ẩm có thể làm tăng tải ẩm đi vào hệ thống khí nén.

Khi lựa chọn máy sấy, cần xem xét đồng thời:

• lưu lượng;
• áp suất;
• nhiệt độ khí đầu vào;
• nhiệt độ môi trường;
• độ ẩm;
• điểm sương yêu cầu.

Yêu cầu điểm sương thấp

Một số thiết bị hoặc quy trình nhạy cảm cần khí khô hơn đáng kể so với mức mà máy sấy khí lạnh có thể cung cấp.

Trong trường hợp này, máy sấy khí hấp phụ là lựa chọn phù hợp hơn.

Kiểm soát dầu và hạt

Khí khô chưa chắc đã là khí sạch.

Hệ thống lọc phải được lựa chọn theo loại máy nén và yêu cầu của thiết bị sử dụng khí.

Sản xuất liên tục

Các nhà máy điện tử và bán dẫn thường vận hành nhiều ca hoặc liên tục.

Hệ thống xử lý khí cần duy trì điểm sương và chất lượng khí ổn định trong thời gian dài.

Nhiều khu vực có yêu cầu khác nhau

Khí dùng cho tiện ích chung, tự động hóa, thiết bị kiểm tra và các khu vực nhạy cảm có thể cần mức xử lý khác nhau.

Không phải toàn bộ nhà máy đều cần khí có điểm sương −40°C.

Hiệu quả năng lượng

Đối với hệ thống hấp phụ có lưu lượng lớn, lượng khí dùng cho tái sinh có thể ảnh hưởng đáng kể đến chi phí vận hành.

Vì vậy, cần lựa chọn công nghệ tái sinh phù hợp với lưu lượng và chế độ làm việc.

Giải Pháp Khuyến Nghị

Đối với các khu vực cần điểm sương thấp, cấu hình điển hình là:

Lọc sơ cấp → Máy sấy khí hấp phụ → Lọc tinh → Điểm sử dụng

Đối với khí tiện ích chung:

Máy sấy khí lạnh → Hệ thống lọc

Đối với lưu lượng nhỏ hoặc xử lý gần điểm sử dụng, có thể sử dụng máy sấy hấp phụ mô-đun.

Đối với hệ thống lớn vận hành liên tục, máy sấy hấp phụ gia nhiệt hoặc máy sấy tái sinh bằng blower có thể giúp giảm lượng khí nén tiêu thụ trong quá trình tái sinh.

Máy Sấy Khí Hấp Phụ Cho Điểm Sương Thấp

Đối với các ứng dụng cần khí khô sâu, có thể sử dụng Máy Sấy Khí Hấp Phụ Không Gia Nhiệt Dòng HH.

Thông số chính:

• điểm sương áp suất: ≤−40°C;
• áp suất danh định: 0,7 MPa;
• dải áp suất làm việc: 0,6–1,0 MPa;
• nhiệt độ khí đầu vào tối đa: ≤40°C;
• lượng khí tái sinh trung bình: 8–14%;
• vật liệu hút ẩm: alumina hoạt tính + molecular sieve hiệu suất cao.

Giải pháp này phù hợp khi điểm sử dụng thực sự yêu cầu điểm sương thấp.

Máy Sấy Hấp Phụ Mô-Đun

Đối với lưu lượng nhỏ, không gian hạn chế hoặc các điểm sử dụng riêng biệt, có thể sử dụng Máy Sấy Hấp Phụ Mô-Đun Dòng M.

Phù hợp cho:

• thiết bị kiểm tra;
• hệ thống đo lường;
• lắp ráp chính xác;
• xử lý khí cục bộ;
• khu vực kỹ thuật nhỏ;
• ứng dụng gần điểm sử dụng.

Việc chọn model cần dựa trên lưu lượng, áp suất, nhiệt độ đầu vào và điểm sương yêu cầu.

Giải Pháp Hiệu Suất Cao Cho Hệ Thống Lớn

Đối với hệ thống lớn cần khí khô liên tục, có thể sử dụng HRB-E — Máy Sấy Khí Hấp Phụ Tái Sinh Bằng Blower Gia Nhiệt với Lượng Khí Xả Thấp.

Thông số chính:

• điểm sương: −20°C / −40°C, tùy chọn;
• lượng khí nén dùng cho tái sinh: 2–3%;
• áp suất danh định: 0,7 MPa;
• dải áp suất làm việc: 0,6–1,0 MPa;
• nhiệt độ khí đầu vào tối đa: ≤40°C;
• giao tiếp RS-485 tiêu chuẩn.

Giải pháp này phù hợp hơn với các nhà máy có nhu cầu khí khô lớn và vận hành liên tục.

Máy Sấy Khí Lạnh Cho Khí Tiện Ích

Không phải mọi khu vực trong nhà máy điện tử đều cần máy sấy hấp phụ.

Đối với khí tiện ích, tự động hóa chung và các ứng dụng mà điểm sương 2–10°C là đủ, có thể sử dụng Máy Sấy Khí Lạnh Dòng AH.

Thông số chính:

• điểm sương áp suất: 2–10°C;
• áp suất danh định: 0,7 MPa;
• dải áp suất làm việc: 0,6–1,0 MPa;
• nhiệt độ khí đầu vào tối đa: ≤80°C;
• nhiệt độ môi trường: 2–45°C;
• tổn thất áp suất: ≤0,025 MPa.

Hệ Thống Lọc Khí Nén

Lingyu cung cấp bộ lọc khí nén D Series để giảm hạt rắn và aerosol dầu.

Cấu hình lọc cần được xác định theo:

• loại máy nén;
• công nghệ máy sấy;
• yêu cầu về hạt;
• yêu cầu về dầu;
• mức độ nhạy cảm của quy trình.

Đối với máy sấy hấp phụ, lọc đầu vào phù hợp cũng giúp bảo vệ vật liệu hút ẩm khỏi dầu và tạp chất.

Xử Lý Khí Theo Từng Cấp

Đối với nhà máy lớn, nên phân chia hệ thống theo mức chất lượng khí cần thiết.

Khí tiện ích chung

Máy nén → Bình tích khí → Máy sấy khí lạnh → Lọc → Mạng khí chung

Khí điểm sương thấp

Khí đã xử lý sơ bộ → Máy sấy hấp phụ → Lọc tinh → Khu vực nhạy cảm

Cách bố trí này giúp tránh phải sấy toàn bộ lượng khí của nhà máy xuống −40°C khi chỉ một số khu vực yêu cầu mức điểm sương này.

Máy Tạo Khí Nitơ Cho Ứng Dụng Cụ Thể

Một số quy trình điện tử hoặc bán dẫn có thể sử dụng nitơ.

Khi cần tạo nitơ tại chỗ, Máy Tạo Khí Nitơ PSA Lingyu có thể được tích hợp với hệ thống xử lý khí nén.

Việc lựa chọn hệ thống cần dựa trên:

• độ tinh khiết N₂;
• lưu lượng;
• áp suất;
• mức tiêu thụ trung bình;
• mức tiêu thụ cực đại;
• thời gian vận hành;
• ứng dụng thực tế.

Không nên giả định một mức độ tinh khiết nitơ duy nhất cho tất cả các công đoạn sản xuất điện tử hoặc bán dẫn.

Hướng Dẫn Lựa Chọn

Ứng Dụng Điển Hình

Các giải pháp Lingyu có thể được sử dụng trong:

• sản xuất điện tử;
• sản xuất bán dẫn;
• đóng gói và kiểm thử bán dẫn;
• lắp ráp linh kiện chính xác;
• thiết bị kiểm tra;
• hệ thống tự động hóa;
• van và cơ cấu chấp hành;
• hệ thống đo lường;
• dây chuyền robot;
• khí tiện ích chung;
• các khu vực nhạy cảm với độ ẩm;
• hệ thống khí nén trung tâm.